NTS系列机器人规格

项目		标准		选项
型号		NTS10	NTS20	-
构造		水平多关节型		-
臂		单手臂	双手臂	-
自由度 (轴)		4	5	-
运动范围	θ1轴 (旋转・JT2) (°)	340		-
	Z轴 (上下・JT3) (㎜)	470		-
	θ2轴 (旋转・JT4) (°)	340		-
	H1轴 (旋转・JT6)(°)	340		-
	H2轴 (回転・JT7) (°)	-	340	-
*大伸展距离 (mm)		1,066		-
重复性 (mm)✽1		±0.1 (晶圆中心)		-
无尘度✽2		ISO1级		-
抓手规格✽3		-	-	边缘夹持式 / 真空吸附式
控制柜		D60		示教器
		分离电缆 (1-5m)✽4		操作盒
软件		标准软件		KRET
		KMTerm		KR3D
		KSUtility Lite		KSUtility
手册		使用说明书		-
		通信说明书		-
		通用软件 (K-Fast) 导入说明书		-
否则		-		校准器
		-		测绘传感器

✽1：以ISO9283为基准。

✽2：于川崎的无尘间内测得。

✽3：标准式样不含抓手。

✽4：分离电缆请从1m、2m、2.5m、3m、3.5m、4m、4.5m、5m中选择。

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